| 開設年度 | 2016 年度 |
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| 科目コード | T254007 |
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| 授業コード | T25400701 |
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| 授業科目名 | 加工物理工学 |
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| 同上英語名 | Manufacturing Science |
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| 単位数 | 2.0 単位 |
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| 開講学科 | 工学研究科人工システム科学専攻（機械系コース） (T271) |
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| 開放区分 | |
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| 担当教員 | 森田 昇, 松坂 壮太 |
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開講時限・
講義室等 | 前期水曜4限
（講義室：工学部棟１４号棟３階機械系ゼミ室） |
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科目区分
（詳細表） |
- 2016年入学生：
- 選択科目S30（T251:工学研究科建築学コース（後期）, T252:工学研究科都市環境システムコース（後期）, T261:工学研究科デザイン科学コース（後期）, T271:工学研究科機械系コース（後期）, T272:工学研究科電気電子系コース（後期）, T273:工学研究科メディカルシステムｺｰｽ（後期）, T281:工学研究科共生応用化学コース（後期））
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| シラバス | - ［授業の方法］
- 講義
- ［受入人数］
- 10
- ［受講対象］
- 自学部他学科生 履修可,他学部生 履修可,科目等履修生 履修可
- ［授業概要］
- マイクロ・ナノテクノロジーの中核をなす超精密微細加工分野では，２次元の微細加工だけでなく，３次元マイクロ加工やナノメータレベルの極微細加工など，従来の半導体プロセスや機械加工では難しい高度加工技術が要求されている．講義では， 電子，光，イオン，プラズマなどのエネルギ粒子を利用した微細加工法の原理から応用までを総合的に学習する．微細加工の意義と発展の歴史，微細加工のためのエネルギ粒子の発生と振舞い，エネルギ粒子と物質表面との相互作用，加工現象の基礎，加工装置の原理と特徴，微細加工法の応用事例などについて詳解する．また，実用化が期待されるマイクロ・ナノメータスケールの各種加工技術について概説する．
- ［目的・目標］
- １．電子，光，イオン，プラズマなどのエネルギ粒子を利用した微細加工法の原理から応用までを総合的に理解する．
２．微細加工の意義と発展の歴史，微細加工のためのエネルギ粒子の発生と振舞い，エネルギ粒子と物質表面との相互作用，加工現象の基礎，加工装置の原理と特徴，微細加工法の適用論について理解する．
- ［授業計画・授業内容］
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- マイクロ加工の意義：マイクロ加工の必要性，マイクロ加工の分類と比較，マイクロ加工の発展の歴史について講義する．
- 光・電子・イオン(1)：光，電子，イオンの発生，エネルギー状態，作用について講義する．
- 光・電子・イオン(2)：光，電子，イオンの集団現象，希薄気体とプラズマの振舞について講義する．
- 粒子と固体との相互作用(1)：加工対象としての固体表面の微視的な状態，ガス粒子と固体表面との相互作用について講義する．
- 粒子と固体との相互作用(2)：電子と固体表面の相互作用について講義する．
- 粒子と固体との相互作用(3)：イオン，光子と固体表面の相互作用について講義する．
- 加工現象(1)：エネルギービームによる固体表面の温度上昇と加工現象，レジスト露光とフォトリソグラフィについて講義する．
- 加工現象(2)：プラズマシースと加工現象，化学・電解エネルギーと加工現象について講義する．
- 加工装置(1)：電子ビーム，イオンビームの特徴と発生原理および加工装置について講義する．
- 加工装置(2)：ラジカルビーム，プラズマの特徴と発生原理および加工装置について講義する．
- 加工装置(3)：フォトン加工，プローブ加工の特徴と原理および加工装置について講義する．
- マイクロマシニング(1)：LIGAプロセス，SPM加工法の実際について講義する．
- マイクロマシニング(2)：レーザ・テクスチャー法とイオンビーム・テクスチャー法の実際について講義する．
- マイクロ・ナノメータスケール加工技術の現状(1)：最近のマイクロ加工技術，ナノ加工技術に関するトピックスを解説する．
- マイクロ・ナノメータスケール加工技術の現状(2)：最近のマイクロ加工技術，ナノ加工技術に関するトピックスを解説する．
- 期末試験
- ［キーワード］
- マイクロ加工，レーザビーム，電子ビーム，イオンビーム，相互作用，物理・化学加工
- ［教科書・参考書］
- 吉田 善一 『マイクロ加工の物理と応用』裳華房 2003年 第3版 ISBN，4-7853-2508-9
- ［評価方法・基準］
- 教科書の章ごとの課題レポートの評価50点（5回×10点）と期末試験50点の合計（100点満点）により，60点以上を合格とする．
- ［関連科目］
- 超精密加工学，先端加工学，マイクロ工学
- ［履修要件］
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- ［備考］
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| 関連URL |
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| 備考 | |
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