| 開設年度 | 2016 年度 |
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| 科目コード | T255010 |
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| 授業コード | T25501001 |
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| 授業科目名 | 薄膜・表面分析特論 |
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| 同上英語名 | Thin Film and Surface Analysis |
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| 単位数 | 2.0 単位 |
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| 開講学科 | 工学研究科人工システム科学専攻（電気電子系コース） (T272) |
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| 開放区分 | |
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| 担当教員 | 酒井 正俊 |
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開講時限・
講義室等 | 前期火曜3限
工 15号棟 109教室 |
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科目区分
（詳細表） |
- 2016年入学生：
- 選択科目S30（T251:工学研究科建築学コース（後期）, T252:工学研究科都市環境システムコース（後期）, T261:工学研究科デザイン科学コース（後期）, T271:工学研究科機械系コース（後期）, T272:工学研究科電気電子系コース（後期）, T273:工学研究科メディカルシステムｺｰｽ（後期）, T281:工学研究科共生応用化学コース（後期））
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| シラバス | - ［授業の方法］
- 講義
- ［受入人数］
- 30
- ［受講対象］
- 自学部他学科生 履修可,他学部生 履修可
- ［授業概要］
- 物質工学や電子工学の分野において欠かすことのできないツールである、電子分光,イオンビームアナリシス,表面回折,走査型プローブ顕微鏡等の表面分析について,その原理や適用範囲を論ずる。
- ［目的・目標］
- 半導体デバイスの作製プロセスにおいて、表面の元素組成や構造を調べることは重要であり、表面分析は決して化学者・物理学者だけのためのものではない。実際、博士課程の研究を遂行するうえで、様々な表面分析手法を駆使する機会は多い。ところが、特に電気電子工学科出身の学生にとっては、そういった手法をまとまって学ぶ機会がないのが現状である。そこでこの授業では、典型的な表面分析手法の概要と、得られるデータを理解するための基礎知識を得てもらうことをねらいとする。題材は典型的な表面分析手法の概説と、それを理解するための物理的な素過程である。
- ［授業計画・授業内容］
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- 概要説明
- 分子のなりたちと混成軌道
- 結晶のなりたち
- ブラッグの条件
- 回折の実際
- 表面の特殊性
- 表面の電子状態
- 電子をプローブとする分析法１
- 電子をプローブとする分析法２
- 電子をプローブとする分析法３
- X線をプローブとする分析法１
- X線をプローブとする分析法２
- イオンをプローブとする分析法１
- イオンをプローブとする分析法２
- 走査プローブ顕微鏡とスペクトロスコピー
- ［キーワード］
- thin film,surface,ionbeam analysis,photoelectron spectroscopy,scaning probe microscopy
- ［教科書・参考書］
- 「薄膜・表面分析の基礎」フェルドマン、メイヤー著（海文堂）
「Ｘ線構造解析」早稲田、松原著（内田老鶴圃）など
「表面の構造解析」八木克道編（丸善）
「走査型プローブ顕微鏡-基礎と未来予測-」森田清三編（丸善）
「表面張力の物理学」ドゥジェンヌ他（吉岡書店）
- ［評価方法・基準］
- レポートもしくは試験の結果によって評価する。
- ［関連科目］
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- ［履修要件］
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- ［備考］
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| 関連URL |
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| 備考 | [T20500701]からコピー。 |
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